平面度测量PPT课件.ppt

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1、平面度测量步骤1.准备平面底板进行平面度测量2.建立平面度数据采集软件3.设置光学系统4.使激光沿测量线对齐5.采集测量线数据6.建立并测量七个测量线7.分析采集的平整度数据。检查数据测量误差所讨论的平直度测量精度的影响因素平面度测量组件平面度测量组件三个平面度底座-50mm步距-100mm步距-150mm步距平面度测量原理平面度测量的过程是：当角度反射镜沿着测量光路移动时采集一系列增量高度读数。激光测量由以下组件构成：XL-80激光头XC-80环境补偿单元角度测量光学镜组平面度测量组件LaserXL校准软件评估平面度的标准方法要测量表面的平面度，需在表面上采集若干条测量直线。平面度测量有两种

2、标准方法：对角线(Moody)法、网格法。网格法和半网格法平面度测量准备及设置线的位置激光位置平面度测量配置平面度测量步骤闭合度误差平面等值线FB、HD是错误7和8平面度光束准直步骤单旋转镜1.干涉镜的放置位置2.旋转镜/干涉镜组合至少8毫米前开始点测量3.调整光靶位置4.旋转旋转镜5.调整激光/三脚架使光束旋转镜放在正确的位置，如图5所示。6.角度反射镜安装在沿线的远处7.旋转旋转镜，产生双反射线8.使入射光在图示7的位置9.去除光靶，旋转旋转镜使反射光反射到激光前边的光靶上。10.倾斜的旋转镜使反射光在同一高度。11.旋转旋转镜的光靶如图812.移动反射镜接近干涉镜13.如果有必要，调整水

3、平和垂直装置使激光光束返回到光靶的位置。14重复步骤6到13。直到反射光束在指定位置。15.旋转激光头的光靶，如图10所示双旋转镜1.干涉镜的放置位置2.旋转镜/干涉镜组合至少8毫米前开始点测量3.旋转激光头光靶如图3所示4.旋转第二个旋转镜如图4所示5.调整激光/三脚架使光束放在两个回转镜正确的位置6.旋转第一旋转镜，以便它名义上面临着其所需的方向。7.倾斜和旋转旋转镜使光束放在正确第一个回转镜的正确位置，如图6所示。8.角反射镜放到远处，回转镜放置位置如图79.旋转第一旋转镜使光束经过角干涉仪和由此产生的双光束到角反射镜。10.倾斜第一转折点镜，光束到达角反射器，在正确的高度，使用目标如图

4、8。11.去除光靶和旋转的第一旋转镜使返回的光束射到激光头的光靶的白点上。12.倾斜第一把回转镜直到返回光束在同一高度的光靶上。13.旋转的第一旋转镜直到光束射到光靶的目标，如图9所示。14.移动角反射器的位置最接近的角度干涉仪。15.如果有必要，水平和垂直激光光束返回到光靶。16.重复步骤8到15直到返回光束射到光靶。17.旋转激光光靶，如图11所示。检查是否达到可接受的信号强度的测量线。平面度数据采集软件对角线方法设置选择设置/设置对角线法菜单栏，或单击工具栏上的按钮。设置步距对角线法设置对角线法激光的位置新的激光线路对角线法目标选择选择对角线测量线网格划分数据捕获设置选择设置/网格设置菜单栏，或单击工具栏上的按钮。网格设置对话框数据标题对话框网格法参考平面条目对话框选择网格测量线网格线路选择平面度数据采集符号惯例平面度分析对角线平面度等高线网格平面度等高线高程和旋转对角线法替代投影效果的比较图3（其中升降和旋转的分别45和75）图1（他们都是35）。单位选择影响平面度测量精度的因素下列因素可能会影响测量的准确度：1.光束对准误差2.角度光学误差3.底板尺寸局部膨胀4.测量重复性1.光束对准误差Flatness base步距步距Maximum alignment error最大对准误差最大对准误差