三星中国半导体有限公司封装测试建设项目环境影响评价评价报告书简本.doc

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1、目录1 建设项目概况 11.1 项目背景 11.2 项目概况 12 产业政策、相关规划符合性和选址可行性分析 12.1 产业政策和规划符合性分析 12.2 选址合理性分析 13 评价标准 13.1 评价标准 13.2 评价工作等级及评价范围 14 工程分析 24.1 废气 24.2 废水 24.3 噪声 34.4 固体废物 35 环境质量现状 45.1 环境空气质量现状 45.2 地表水环境质量现状 45.3 地下水环境质量现状 55.4 声环境质量现状 55.5 土壤环境质量现状 55.6 敏感保护目标 56 施工期环境保护措施及主要环境影响 76.1 环境空气 76.1.1 污染防治措施

2、76.1.2 主要环境影响 76.2 噪声 76.2.1 污染防治措施 76.2.2 主要环境影响 76.3 水环境 86.3.1 污染防治措施 86.3.2 主要环境影响 86.4 固体废物 86.4.1 污染防治措施 86.4.2 主要环境影响 86.5 生态环境 87 运营期环境保护措施及主要环境影响 107.1 环境空气 107.1.1 污染防治措施 107.1.2 主要环境影响 117.2 地表水环境 117.2.1 污染防治措施 117.2.2 主要环境影响 127.3 地下水环境 127.4 声环境 127.4.1 污染防治措施 127.4.2 主要环境影响 127.5 固体废物

3、 138 环境风险评价 149 公众参与 1510 环境监测计划与竣工验收清单 1711 清洁生产及总量控制建议指标 2011.1 清洁生产 2011.2 总量指标 2012 总结论 2113 要求与建议 2114 联系方式 2214.1 建设单位联系人 2214.2 环评单位联系人 22附件列表：附件 1：委托书；附件 2: 西安市环境保护局高新技术产业开发区分局关于三星（中国）半导体有限公司封装测试建设项目环境影响评价执行标准的批复；附件 3：陕西省环境保护厅关于三星（中国）半导体有限公司12 英寸闪存芯片项目环境影响报告书的批复；附件 4：监测报告；附件 5：第一次公示；附件 6：第二次

4、公示；附件 7：调查样表；附件 8：公众参与调查名单；附件 9：公众参与承诺；附件 10：评估会专家签到表；附件 11：专家意见。1建设项目概况1.1项目背景2012年三星电子选址西安，建设三星（中国）半导体有限公司12英寸闪存芯片项目。2012年5月29日，经陕西省环境保护厅以 陕环批复2012298号”文批复同意项 目建设。目前该项目正在建设过程中，由于部分设施建设变更，正在办理变更环保手 续。本次封装测试项目（以下简称 项目”为12英寸闪存芯片项目配套的后续加工项 目，选址位于12英寸闪存芯片项目预留用地范围内，除消防系统和废水排放依托全厂 排口外，其他与12英寸闪存芯片项目之间无依托关

5、系。项目地理位置见图 1。1.2项目概况本项目主要从事eMMC芯片（嵌入式多媒体卡）的封装、测试，以及SSD （固态硬盘）的组装生产。主要建设内容包括组装厂房、动力站、污水处理附属建筑、废弃 物仓库、危险品仓库、材料仓库、物流厂房等建筑。总用地面积约88038m2，其中建构筑物占地26850 m2,道路铺砌占地为43660 m2，绿化面积为17528 m2。建成投产后 可形成月产eMMC芯片140万片、SSD170万套的生产能力。项目总投资约 5.0亿美元 （306000万元），环保投资为26002.7万元，环保投资共占总投资 8.5%。芯片封装测试工艺流程可分成芯片封装、芯片测试和SSD模组

6、组装三个部分。其中，芯片封装分为贴膜、研磨、划片、贴片、金线焊接、塑封、植锡球、分割成型八 个工序；芯片测试分为直流电流检测、老化测试、打印、测试、烘烤、自动外观检 测、载带、包装八个工序；SSD模组组装分为网版印刷、贴片、回流焊、测试、装载 外壳、贴标签、外观检测和包装八个工序。项目由高新区的市政供水，日用水量为1643m3/d。排水为雨污分流，雨水收集后排入高新区雨水管网，污水收集后经厂区污水处理站处理达标后经厂区总排口排入高 新区污水管网，再进入西安高新区第二污水处理厂处理后排放。本项目组成内容见表1，主要原辅材料见表2，产品方案见表3。表1项目组成一览表类别项目名称建筑面积（m2）建设

7、内容及功能区划、主体 工程组装厂房59574生产：月产 eMMC芯片140万片、SSD170万套厂房：3层钢筋混凝土 +大型钢屋架结构。组装栋：地上3层。其中第1层为通风道，第 2、3层为生产车间。 第2层主要分布晶圆等材料暂存室、接待室、数据处理办公室、服 务器机房、教育间，共 8 mo第3层主要分布贴膜、切割、键合、包装、测试等生产车间，共8m o、辅助工程物流 厂房3376厂房：2层钢混+钢屋架结构。1层：保安检查台、码头2层：办公室，电气室，空调室材料厂房2330厂房：1层钢混+钢屋架结构。 一般材料贮存仓库。1层：保安检查台、码头动力站6486厂房：地下1层，2层钢筋混凝土 +大型钢

8、屋架结构。 地下1层：纯水池1层：超纯水系统、冷冻机室、3t/h备用天然气锅炉2层：电气室、办公室污水处理 附属建筑2750包括生产废水处理系统2700m3/d，生活废水处理系统1200 m3/d和回用水处理系统。废弃物仓库1228废物暂存，委外回收。危险品仓库740危险品、化学药剂和危险废物贮存。三、公用 工程给水工程/由咼新区市政自来水提供水源排水工程/雨污分流，雨水收集后排入咼新区雨水管网，污水收集后经新建污 水处理站处理后排入高新区污水管网。消防/主要依托芯片项目消防系统，另在组装厂房增设18m3的高位水箱供电工程/由新建110KV变电站提供（不在本次环评范围内）供热工程/高新区西太路

9、热力中心供应，本项目新建一台3t/h备用天然气锅炉天然气 供应工程/由咼新区西太路天然气调压站供气四、环保工程生产废气 处理系统/分析室酸性废气采用碱液喷淋塔处理后排放SSD工序粉尘经集尘装置处理后排放生产废水 处理系统/生产废水经物化法处理后过滤，部分排放，部分深度处理后回用， 污水处理站由西安市政府建设，建设单位负责设备购置安装和日常 运行。处理设计规模为2700 m3/d o生活污水 处理/生活污水经生化法处理后过滤，部分排放，部分深度处理后回用， 污水处理站由西安市政府建设，建设单位负责运行。处理设计规模 为 1200 m3/do回用水处理/超滤-反渗透”双膜法工艺。固体废物 处置/一

10、般固体废物，委外回收/危险废物，委托有资质的公司处置/牛活垃圾由环卫部门统一收集风险防范 设施应急 救援设施/无机集水池及有机集水池可在污水处理系统故障时作为事故水池使 用，容积分别为 1323 m3和588 m3绿地率/19.91%表2主要原辅材料一览表序号材料名称技术规格单位年消耗量存放位置用途1-H- LJL 心片12英寸片840000材料仓库2PCB集成电路板PCB基板个200000000材料仓库封装一贴片 模组组装一网版印刷3控制器控制芯片个75000000材料仓库模组组装一 贴片4外壳（固体硬盘）用外 壳个10000000材料仓库模组组装一 装载外壳5连接器数据连接器个200000

11、00材料仓库模组组装一 贴片6粘膜胶带贴片用胶带个7500材料仓库封装一贴片7有源器件二极管、直流转换器等个125000000材料仓库模组组装一 贴片8焊线金线英尺125000000材料仓库封装一金线 焊接9环氧塑封硅、环氧树脂Kg50000材料仓库封装一塑封10锡球锡球(Sn, Ag, Cu )1000 个45000000材料仓库封装一植锡 球11锡膏锡膏(Sn, Ag, Cu )Kg500材料仓库模组组装一 网版印刷12助焊剂环氧树脂瓶750危险品仓库封装一植锡 球13劈刀劈刀个20000材料仓库封装一金线 焊接14切刀刀片个1000材料仓库封装一划片15包装盒SSD包装盒个1000000

12、0材料仓库模组组装一 包装16大箱子纸箱个200000材料仓库测试一包装 模组组装一包装17吸湿剂膨润土瓶125000材料仓库测试一包装18防湿袋防湿袋个75000材料仓库测试一包装19测湿器HIC测湿器个75000材料仓库测试一包装20泡沫塑料 板包装泡沫塑料板个500000材料仓库模组组装一 包装21托盘包装托盘个3500000材料仓库测试一包装 模组组装一包装22无源器件电阻、MLCC、INDUCTOR 电 容、电感个4.5E+09材料仓库模组组装一 贴片23洗剂溶液 95% HCFC141B（一氟二氯乙烷）L60,000危险品仓库24表面活性 齐UJC-1H(5160%,载液；L320

13、00危险品仓库1120%聚环氧乙 烷甲基苯丙胺聚合 物；1120%专用混 合物；2635%聚环氧乙烷）25丙酮99%L219危险品仓库&废水处理 站附属栋分析室药品26盐酸35%Kg18327硫酸97%Kg3728硝酸60%Kg3529混凝剂铝盐聚合物L1022000混凝药剂30阴离了聚 合物丙烯酸共聚物L76650絮凝药剂31PAC聚合氯化铝L511000混凝药剂32苛性钠NaOHL511000调节pH33硫酸95%L127750调节pH34阳离了聚 合物/L12775污泥脱水调 理剂35消泡剂硅酮类L18250去除泡沫36NaOCIL73000膜清洗37杀菌剂EC503、IK110L730

14、00反渗透使用38防垢剂N900L73000反渗透使用39分散剂/L73000反渗透使用40硫酸氢钠/L73000去除氯41C-107125%磷酰胺L2190042F560S11.5%氯甲基异噻唑啉L10950非氧化性消 毒剂43P-111防腐剂0.20.7% 2-甲基-2H-异噻唑-3-酮L146044活性炭/t530废水站附属栋表3产品方案一览表产品名称产品规格生产规模（万片/月）eMMC16Gb MLC、32Gb MLC、64Gb MLC、128Gb MLC140SSD128GB 双层，14mm Cd、铁、锰、总磷共20项，均符合地下水质量标准(GB/T 14848-93)川类标准。5.

15、4声环境质量现状噪声监测结果表明，厂界四周环境噪声昼夜间均符合声环境质量标准(GB3096-2008) 3类标准要求。5.5 土壤环境质量现状在拟建项目场地和迪村设置两个土壤监测点，监测项目为pH、铅、镉、汞、砷、铜、铬、锌、镍、氟化物共10项，监测结果均符合 GB15618-1995土壤环境质量标准中二级标准。5.6敏感保护目标项目主厂区周边3km范围内的主要环境保护对象及其保护目标见表6及图3。表6评价区内主要环境保护对象及其保护目标环 境 要 素环境敏感保护目标相对 方位相对距离(m)人数户数备注环境保护目标区/县镇村环境 空 气长安 区兴 隆 街 道张牛村东1352710175环境空气

16、质 量标准(GB3095- 2012)高桥东204227060河头西南17002541010黄家坡西南1285410105晓阳村南1200730190兆元村南11001755449:东甘河东北28002486613环 境 要 素环境敏感保护目标相对 方位相对距离（m）人数户数备注环境保护目标区/县镇村堰渡村东北25002730762和迪村西南290010604269五星乡龙王河南1500126489王通寨西南21041620360郭吕堡南1800986251晋家堡南2166791218江村南23301604376共同村东南2469974233侯家堡南25603801554江村初中南239630

17、4地表水潏河南0.3km地表水质地表水环境 质量标准GB3838-2002川类沣河西侧4km地 下 水地下水流向上游以潏河为界，下游3km、两侧2km范围内，面积约 20km2地下水质量 标准GB/T14848- 93 m类声 环 境厂界外200m内建成后无声环境敏感点工业企业厂 界环境噪声排 放标准3类生 态 环 境厂区外延500m区域生态环境土壤环境质 量标准GB15618- 1995旱作区 二级标准6 施工期环境保护措施及主要环境影响6.1 环境空气6.1.1污染防治措施要求建设单位加强施工过程中施工区管理，施工区四周采用简易围屏；建筑材料 的堆场以及混凝土拌合处应定点定位，并采取防尘抑

18、尘措施；对散料和场内堆存的土 方堆场采用水喷淋防尘，或用蓬布遮盖散料堆；散装水泥罐下部出口处设置防尘袋， 以防水泥散逸；装修粉刷的涂料应使用污染相对较小的环保型涂料。加强运输管理， 运输车进出的主干道应定期洒水清扫，保持车辆出入口路面清洁、湿润，并尽量减缓 行驶车速，以减少施工车辆引起的地面扬尘污染；散货车不得超高超载，以免车辆颠 簸物料洒出；运输车辆卸完货后应清洗车厢；工作车辆及运输车辆在离开施工区时冲 洗轮胎，检查装车质量；施工场地每天定期洒水，防止浮尘产生，在大风日加大洒水 量及洒水次数；运输车辆应密闭运输，严防沿途道路遗撒，进入施工场地应低速或限 速行驶，以减少产尘量；加强对机械、车辆

19、的维修保养，禁止以柴油为燃料的施工机 械超负荷工作，减少烟度和颗粒物排放。6.1.2 主要环境影响建设单位在采取以上环评提出的措施后，环境空气影响可得到有效控制，且其影 响随施工过程的结束而结束，对周边环境影响较小。6.2 噪声6.2.1 污染防治措施要求建设单位合理安排高噪声施工作业的时间， 22点至次日凌晨 6 点禁止高噪声 机械作业；对工地周围设立围护屏障，同时可在高噪声设备附近加设可移动的简易隔 声屏；在工地布置时应考虑搅拌机等高噪声设备安置在离敏感点相对较远的一侧，运 输车辆的进出口也建议安排在该侧，并规定进、出路线，使行驶道路保持平坦，减少 车辆的颠簸噪声和产生振动；加强施工区附近

20、交通管理，避免交通堵塞而增加的车辆 鸣号，尽可能减少施工对周围地区声环境的影响。6.2.2主要环境影响施工现场的噪声严格执行建筑施工场界环境噪声排放标准(GB12523-2011)的要求，加强管理，文明施工。在采取上述措施后，项目施工期声环境影响可得到有 效控制，施工期的噪声影响是短期的、项目建成后，施工期噪声的影响也就此结束。6.3水环境6.3.1污染防治措施项目在施工高峰期生活污水产生量为16t/d，生活污水中主要污染物为CODcr、BOD5和 SS等。要求项目施工期生产废水设置沉淀池，废水经处理后循环使用；设置化粪池处理 生活污水，处理达标后用于绿化洒水，禁止直接外排。施工期废水不得直接

21、外排。 632主要环境影响正常情况下，施工期废水全部回用不外排，不会影响地表水环境。6.4固体废物6.4.1污染防治措施项目施工期的挖方量为 402787m3，填方量为265246m3，堆积土方量为137541m3 （堆存于厂区预留工业场地，用于后期项目建设），弃方量为0。施工过程产生的建筑垃圾量为20000t。生活垃圾产生量66t/a。要求项目渣土尽量在场内周转，就地用于绿化、道路等生态景观建设，不得倾倒 建筑垃圾，必须外运的弃土以及建筑废料应运至西安市指定的建筑垃圾堆放场；设置 临时堆场，及时清运工程产生的固体废弃物应；加强生活垃圾管理，采用垃圾桶收 集；生活垃圾应及时交环卫部门清运，统一

22、处置，施工单位与接纳单位签订环境卫生 责任书，禁止用于施工回填。确保运输过程中保持路面整洁，施工单位应有专人负 责，对渣土垃圾的处置实施现场管理；在工程竣工以后，施工单位应同时拆除各种临 时施工设施，并负责将工地的剩余建筑垃圾、工程渣土处理干净，做到工完、料尽、场地清”。6.4.2主要环境影响在采取上述措施后，施工期固体废物全部得到合理处理处置，对周围环境影响较 小。6.5生态环境项目在原厂区东侧预留用地内，建成后通过绿化，区域植被状况将会得到恢复， 绿化率达到约20%。施工结束后场地经过平整，进行绿化，植被破坏影响能够得到有效治理响较小7 运营期环境保护措施及主要环境影响7.1 环境空气7.

23、1.1污染防治措施根据生产工艺和辅助设施分析，本项目建成投产后，正常工况所排放的废气主要包括SSD工序PCB （集成电路板）粉尘、网版印刷有机废气、分析室酸性废气及废水 处理站臭气，均为有组织排放。SSD生产线内PCB基板被旋转切割时产生的 PCB粉尘，产生浓度为70mg/m3,主33要成分为有机颗粒、Cu、Ni、Au，产生浓度分别为60 mg/m、7.7mg/m、0.03mg/m3、0.0000014 mg/m3。PCB粉尘经负压集尘装置收集，该集尘装置由送风机、控 制器、过滤器、旋转器、收尘罐构成。共设 6 组集尘器，由 6 个支管输送至排风总 管，经0.3卩山滤芯过滤后，净化气体通过31

24、m排气筒排放，过滤截留的PCB粉尘用收 尘罐收集，交有资质单位处置。集尘装置对 PCB 粉尘的处理效率可达 90%，处理后粉 尘排放浓度为7 mg/m3，其中有机颗粒物、Cu、Ni、Au的排放浓度分别为6mg/m3、 0.77mg/m3、 0.003mg/m3、 0.00000014 mg/m3。 符合大气污染物 综合排放标准（GB16297-199）中的二级标准要求。网版印刷工段的清洗溶剂 HCFC-141b在使用过程中，挥发作用造成 HCFC-141b废 气进入大气。清洗溶剂HCFC-141b使用量为60m3/a （密度为1.227g/cm3），折合73.62t/a，其中13.6t/a以废

25、液形态排放，18.08t/a进入清洗棉纱，挥发量约为 41.94t/a（4.79kg/h）。通过排风机抽吸收集，经 29m排气筒有组织排放。分析室中酸类化学品每天的用量分别为盐酸704g,硫酸142g，硝酸134g。其挥发性按照 10%， 1%和 5%进行计算，抽风机通风量按 5160m3/h 计，则酸性气体中氯化 氢、硫酸雾、氮氧化物的产生浓度分别为1.70mg/m3、0.03mg/m3、0.16mg/m3。酸性废气收集后，送入设置在楼顶的碱液喷淋塔，经过25%氢氧化钠溶液洗涤吸收，净化后气体经过 31m 排气筒排入大气。该系统对废气中硫酸雾、氮氧化物、氯化氢等的吸收 效率在70%90%，处

26、理后酸性气体排放可达到大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）中的二级标准要求。碱液吸收产生的少量碱性废水送至超纯水制备 系统的中和水池调节 pH 后，进入生产废水处理单元。项目自建废水处理站含有生物处理工艺，废水生物处理过程中有机物腐败产生臭味，主要污染物为氨（NH3）、硫化氢（H2S）和臭气浓度。生物处理构筑物设排风系统，废气集中并经活性炭处理装置处理后，经排气筒高空排放，排气筒高度为23.2m。处理后废水站臭气排放浓度满足恶臭污染物排放标准（GB14554 93）中相关标准限值要求。7.1.2主要环境影响（1）正常工况 根据预测结果，本项目污染源排放的粉尘最大落地浓度占标率0.

27、45%；NH 3最大落地浓度占标率0.13%; H2S最大落地浓度占标率 0.01%; NMHC最大落地浓度占标率 1.12%。（2）非正常工况 本项目非正常工况大气污染预测选择供热不正常时，燃气锅炉启用的情况下烟气 排放的环境影响。项目大气污染源非正常排放时，排放的各污染物最大落地浓度较 低，可以满足环境空气质量标准（GB3095-2012）二级标准要求。7.2 地表水环境7.2.1污染防治措施项目设废水处理站 1 座，置于厂区北侧，废水处理站内设有 3 套水处理系统，其 中无机废水处理系统 1 套，有机废水处理系统 1 套，回用水处理系统 1 套。项目生产废水主要来自生产过程冷却废水、超纯

28、水制备系统的浓水、动力设备冷却 水系统排水，整体水质较好，主要为悬浮物污染。采取混凝沉淀措施处理，选用高效 的絮凝剂、助凝剂，可有效的提高处理效率，再经过后续砂滤与活性炭过滤处理，能 够保证废水达标排放。项目生活污水经有机集水池收集后，进入传统活性污泥曝气池，出水再经砂滤和 活性炭过滤后，能够满足污水综合排放标准（GB8978-1996）中二级标准限值要求。生产废水和生活污水分别经过前段处理汇集后，经过 “砂滤 +活性炭过滤 ”后处理工 艺，部分废水达标排放，另一部分进入 超滤反渗透”系统，产生891m3/d的淡水，但 该部分出水水质依然不能满足工艺用水指标，需与837m3/d 的原水汇合后，

29、一起进入超纯水制备系统，进一步净化后用于生产线工艺用水。超滤及反渗透系统产生的浓水（ 420m3/d）， COD 浓度为 69mg/L， BOD5 浓度为 47mg/L, SS浓度为23mg/L，氨氮浓度为6mg/L，主要污染物浓度不能全部满足污水综合排放标准(GB8978-1996)中二级标准限值，回流至有机集水池进行再次处 理、循环。7.2.2主要环境影响本项目废水产生量共计 1989.8m3/d，其中生产废水产生量为 1862m3/d，主要污染 物为SS和COD，为无机废水，经无机集水池排入厂区污水处理站经物化法处理；生 活污水产生量为127.8m3/d，主要污染物为 COD、BOD5、

30、SS氨氮，为有机废水，经 有机集水池汇入厂区污水处理站的生化处理池处理；最终两类废水汇集并经过过滤后 处理，一部分经过超滤-反渗透处理后作为超纯水制备系统的原水回用，剩余部分排入 厂区总排放口，排放量 1098.18m3/d，排入高新区市政污水管网，最终进入高新区第二 污水处理厂。根据西安市高新区第二污水处理厂工程项目建议书，第二污水处理 厂设计生产规模为一期 5万吨/天，二期20万吨/天，足以满足本项目的废水处理要 求。高新区第二污水厂计划于 2013年建成，目前尚在建设中。环评建议高新区第二污 水处理厂应先于本项目投入运行，确保本项目建成后的污水去向。7.3地下水环境厂区划分为重点污染防治区和一般污染防治区，对于裸露于地面的生产功能单 元，将其